Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 49(6); 2016
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2016;49(6):530-538. Published online: Nov, 30, -0001

PDF

DOI : 10.5695/JKISE.2016.49.6.530

전기화학 공정을 이용한 질화규소 기판 상의 금속 전극 형성에 관한 연구

  • 신성철;김지원;권세훈;임재홍;
    한국기계연구원 부설 재료연구소(KIMS) 표면기술본부;한국기계연구원 부설 재료연구소(KIMS) 표면기술본부;부산대학교 재료공학과;한국기계연구원 부설 재료연구소(KIMS) 표면기술본부;
초록

There is a close relationship between the performance and the heat generation of the electronic device. Heat generation causes a significant degradation of the durability and/or efficiency of the device. It is necessary to have an effective method to rele

키워드 $Si_3N_4$;Electrochemical process;3-Aminopropyltriethoxysilane;Silane;Electroless deposition;Resistivity;Adhesion strength;