Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 49(6); 2016
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2016;49(6):567-574. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2016.49.6.567

폴리실라잔계 실란트를 이용한 정전척 실링특성 향상 연구

  • 최재영;박현수;손민규;정창오;김우병;
    단국대학교 에너지공학과;단국대학교 에너지공학과;와이엠씨 (주) 기술연구소;와이엠씨 (주) 기술연구소;단국대학교 에너지공학과;
초록

We have analyzed chemical properties of polysiloxane and polysilazane films, respectively, as sealing materials for electrostatic chuck (ESC) and have investigated the possibility of polysilazane as an alternative sealant to polysiloxane. It has been reve

키워드 Electrostatic chuck;Polysiloxane;Polysilazane;Sealing material;