Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 49(6); 2016
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2016;49(6):580-586. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2016.49.6.580

Cr-Si-Al-N 코팅의 상형성 및 표면 물성에 미치는 Si 함량의 영향

  • 최선아;김형순;김성원;;김형태;오윤석;
    한국세라믹기술원 엔지니어링 세라믹 센터;인하대학교 신소재공학과;한국세라믹기술원 엔지니어링 세라믹 센터;한국세라믹기술원 엔지니어링 세라믹 센터;한국세라믹기술원 엔지니어링 세라믹 센터;한국세라믹기술원 엔지니어링 세라믹 센터;
초록

Cr-Si-Al-N coating with different Si content were deposited by hybrid physical vapor deposition (PVD) method consisting of unbalanced magnetron (UBM) sputtering and arc ion plating (AIP). The deposition temperature was $300^{circ}C$, and the ga

키워드 Cr-Si-Al-N;Hard Coating;Hybrid Physical Vapor Deposition;Arc ion plating;Unbalanced magnetron sputtering;