Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 50(1); 2017
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2017;50(1):35-41. Published online: Nov, 30, -0001

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DOI : 10.5695/JKISE.2017.50.1.35

원자층 증착법에 의한 TiO2, Al2O3, 및 TiO2-Al2O3 나노라미네이트 박막이 316L Stainless Steel의 부식특성에 미치는 영향

  • 이우재;만지흠;김다영;장경수;최현진;최우창;권세훈;
    부산대학교, 재료공학부;부산대학교, 재료공학부;부산대학교, 재료공학부;(주)서영, 나노융합사업팀;부산테크노파크, 멤스나노부품생산센터;부산테크노파크, 멤스나노부품생산센터;부산대학교, 재료공학부;
초록

$TiO_2$, $Al_2O_3$, and $TiO_2-Al_2O_3$ nanolaminated films were grown by atomic layer deposition (ALD) on the 316L stainless steel (SS316L) substrates at a temperature of $150^{circ}C$. The growth kinetics of <

키워드 Atomic layer deposition;Corrosion resistance;$TiO_2$;$Al_2O_3$;$TiO_2-Al_2O_3$;