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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 50(3); 2017
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2017;50(3):192-197. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2017.50.3.192
UBM 마그네트론 스퍼터 시스템을 이용한 구리 타겟의 이온전류밀도 향상 연구
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군산대학교 공과대학 신소재공학과;군산대학교 공과대학 신소재공학과;
초록
A 6-way-cross consisting of a 2.75-inch CF flange was used as a main chamber on a PFEIFFER VACUUM TMP station based on a 67 l / sec turbo molecular pump and a diaphragm pump to produce a magnet array with a volume ratio of 5.5: 1.A 1-inch diameter copper
키워드 UBMS(Unbalanced Magnetron Sputtering);Sputtering;Ion current density;