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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 52(6); 2019
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2019;52(6):357-363. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2019.52.6.357
수평형 CVD 장치에서 기판 위치에 따른 단일벽 탄소나노튜브의 합성 수율 및 직경 분포 고찰
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강원대학교 대학원 신소재공학과;강원대학교 대학원 신소재공학과;
초록
We investigated a synthesis yield and diameter distribution of single-walled carbon nanotubes (SWNTs) with respect to the growth position in a horizontal chemical vapor deposition (CVD) chamber. Thin films and line-patterned Fe films (0.1 nm thickness) we
키워드 Single-walled carbon nanotubes;Synthesis yield;Diameter distribution;Chemical vapor deposition;Substrate Position;Raman scattering spectroscopy;