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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 54(1); 2021
- Article
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2021;54(1):25-29. Published online: Nov, 30, -0001
DOI : 10.5695/JKISE.2021.54.1.25
전자빔 증발법 박막 증착을 이용한 양극 산화 알루미늄 템플릿의 나노 포어 가공 연구
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한국기계연구원 나노공정장비연구실;한국기계연구원 나노공정장비연구실;충남대학교 신소재공학과;한국기계연구원 나노공정장비연구실;한국기계연구원 나노공정장비연구실;한국기계연구원 나노공정장비연구실;한밭대학교 신소재공학과;
초록
The fabrication of nanopore membrane by deposition of Al2O3 film using electron-beam evaporation, which is fast, cost-effective, and negligible dependency on substance material, is investigated for potential applications in water purification and sensors.
키워드 Nanopore membrane;Anodic aluminum oxide(AAO);Thin-film deposition;Electron-beam evaporation;