Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 54(2); 2021
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2021;54(2):53-61. Published online: Dec, 24, 2021

PDF Full Text XML

DOI : 10.5695/JKISE.2021.54.2.53

다구찌 강건 설계를 통한 자장 여과 아크 소스로 증착된 사면체 비정질 탄소막의 최적화

  • 곽승윤 a,b , 장영준 b , 류호준 a,b , 김지수 c,d , 김종국 b*
    a부산대학교 기계공학부, b한국재료연구원 표면재료연구본부 극한환경코팅 연구실, c경북대학교 정밀기계 공학과, d경북대학교 미래과학기술융합학과
초록

The properties of tetrahedral amorphous Carbon (ta-C) film can be determined by multiple parameters and comprehensive effects of those parameters during a deposition process with filtered cathodic vacuum arc (FCVA). In this study, Taguchi method was ado

키워드 Filtered cathodic vacuum arc (FCVA); Taguchi robust design; Tetrahedral amorphous carbon (ta-C);Diamond like carbon (DLC)