Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 20(2); 1987
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1987;20(2):43-48. Published online: Nov, 30, -0001

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증착 입사각에 따른 금속박막의 물성 변화

  • 진희창;조현춘;백수현;
    한양대학교 공과대학 재료공학과;한양대학교 공과대학 재료공학과;한양대학교 공과대학 재료공학과;
초록

Chromium and Aluminum films were deposited by evaporation technique in $3{ imes}10^{-6}$ mbar vacuum level at the incident angles ranging from $0^{circ};to;60^{circ}$ with various evaporation rates. We measured the sheet resistances

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