Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 20(3); 1987
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1987;20(3):106-117. Published online: Nov, 30, -0001

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TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향

  • 신종훈;이성래;백영현;
    고려대학교 금속공학과;고려대학교 금속공학과;고려대학교 금속공학과;
초록

The microhardness and the structural characteristics of the chemically vapor deposited TiN film on the 430 stainless steel substrate have been investigated with various deposition parameters such as the deposition time, the total flow rate, the flow rate

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