Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 22(1); 1989
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1989;22(1):17-25. Published online: Nov, 30, -0001

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화학증착된 TiN 박막의 구조적 특성 및 결합력에 관한 연구

  • 이민섭;이성래;백영현;
    고려대학교 공과대학 금속공학과;고려대학교 공과대학 금속공학과;고려대학교 공과대학 금속공학과;
초록

The structural Charactesties and adhesion of chemically vapor deposited TiN film on stain less steels have been investated as functions of deposition temperature, surface roughness of sub state, and types of substrates. The grain zine and the lattice para

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