Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 23(2); 1990
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1990;23(2):24-29. Published online: Nov, 30, -0001

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이온 플레이팅의 TiN코팅층에 미치는 작업인자의 영향

  • 백응승;권식철;이상로;이건환;
    한국기계연구소 표면처리 연구소;한국기계연구소 표면처리 연구소;한국기계연구소 표면처리 연구소;한국기계연구소 표면처리 연구소;
초록

The TiN filmms were deposited on the stainless steel substrates by BARE techinique in order to investigate the effects of process parameters such as source-to-substate distance (15-35cm), N2 pressure(4$ imes$10-10 -1$ imes$10-3mb)and

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