Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 24(2); 1991
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1991;24(2):73-79. Published online: Nov, 30, -0001

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이온플레팅에 의한 TiN 증착중 계면형성과 박막 미소조직에 관한 연구

  • 여종석;이종민;한봉희;
    서울대학교 금속공학과;서울대학교 금속공학과;서울대학교 금속공학과;
초록

Recent studies son surface coatings have shown that the change of physical, chemical and crystallographic structure analysed and observed according to the deposition process variables has the effects on the resultant film properties. Under the same prepar

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