Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 24(3); 1991
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1991;24(3):119-124. Published online: Nov, 30, -0001

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자장을 이용한 이온화율 증대형 삼극형 BARE에서 이온화율의 증대경향과 QMS를 이용한 이온의 에너지 분포 측정

  • 김익현;주정훈;한봉희;
    서울대학교 금속공학과;서울대학교 금속공학과;서울대학교 금속공학과;
초록

Recently, the trend of research in hard coating is concentrate on developing the process of ionization rate under low operating pressure, to get the thin film with high adhesion and dense microstructures. In this study ionization rate enhancement type PVD

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