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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 25(5); 1992
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1992;25(5):223-233. Published online: Nov, 30, -0001
D.C. Magnetron Sputter를 이용한 (Ti, Al) N 피막의 조성 및 조직특성연구
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부산대학교 공과대학원 금속공학과;부산대학교 공과대학원 금속공학과;
초록
(Ti, Al)N films were deposited on 304 stainless steel by D.C. magnetron sputtering using Al target and Ti plate. The properties of (Ti, Al)N films such as composition, microhardness, grain size, crystal structure were investigated. The chemical compositio
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