Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 25(6); 1992
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1992;25(6):299-308. Published online: Nov, 30, -0001

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산소이온 면사에 의한 티타늄질화물 합성 및 기계적 특성에 관한 연구

  • 강태만;박윤우;한전건;
    성균관대학교 공과대학 금속공학과;성균관대학교 공과대학 금속공학과;성균관대학교 공과대학 금속공학과;
초록

Titanium nitride(TiN) has been synthesized by nitrogen ion irradiation onto the Ti thin film deposited on STD11 and SKH9 tool materials. The effect of irradiation flux and substrate temperature on the formation behavior and mechanical properaties of TiN w

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