Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 26(2); 1993
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1993;26(2):71-81. Published online: Nov, 30, -0001

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크롬/폴리이미드의 접착력에 미치는 폴리이미드 표면의 플라즈마 처리의 효과

  • 정태경;김영호;유진;
    한국과학기술원 전자재료공학과;한양대학교 재료공학과;한국과학기술원 전자재료공학과;
초록

Thed effects of Ar or Oxygen RF plasma treatment on the adhesion behavior of Cr films to polyimide sub-strates have been investigated by using SEM, XRD, AES, and $90^{circ}$peel test. By applying RF plasma treatment of the polyimide surface

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