Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 27(2); 1994
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1994;27(2):65-73. Published online: Nov, 30, -0001

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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li$_2$O-B$_2$O$_3$-SiO$_2$ 계 비정질 박막 고체전해질의 증착변수에 따른 이온전도 특성에 관한 연구

  • 노남석;권혁상;
    한국과학기술원 재료공학과;한국과학기술원 재료공학과;
초록

Effects of deposition parameter on the ionic conductivity and structural change of the Lithium borosili-cate solid electrolyte films, prepared by rf sputtering using 7$LI_2O-3B_2O_3-1SiO_2$ single phase target and also a mosaic target enriched

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