Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 27(3); 1994
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1994;27(3):158-165. Published online: Nov, 30, -0001

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TAB 테이프 제조를 위한 구리 도금 및 에칭에 관한 연구

  • 김남석;강탁;윤일표;박용수;
    서울대학교 금속공학과;서울대학교 금속공학과;연세대학교 금속공학과;연세대학교 금속공학과;
초록

Cu-Cr alloy thin film requires good quality of etching be used for TAB technology. The etched cross sec-tion was clean enough when the etching was performed in 0.1M $FeCl_3$ solution at $50^{circ}C$. The etching rate was increased wi

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