Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 27(5); 1994
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1994;27(5):273-284. Published online: Nov, 30, -0001

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폴리이미드에 스퍼터 증착된 Cu-Cr 합금박막의 열처리 거동

  • 임준홍;이태곤;김영호;한승희;
    한양대학교 재료공학과;한양대학교 재료공학과;한양대학교 재료공학과;한국과학기술연구원;
초록

Thermal behavior of Cu-Cr thin alloy films has been investigated by SEM, AES, and TEM. Cu-Cr alloy films containing 3wt% Cr, 8wt% Cr have been sputter-deposited onto polyimide substrates and heat treated at $400^{circ}C$ for 2hrs in the various

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