Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 28(3); 1995
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1995;28(3):133-141. Published online: Nov, 30, -0001

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마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, Inconel 600 및 Steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성

  • 김현호;김흥회;이원종;
    한국과학기술원 재료공학과;한국원자력연구소 표면개질기술개발그룹;한국과학기술원 재료공학과;
초록

The deposition characteristics of diamond films were investigated for three different substrates : Si, Inconel 600 and steel. Diamond films were prepared by microwave plasma CVD method using $CH_4$, $H_2$ and $O_2$ as reac

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