Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 28(3); 1995
  • Article

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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1995;28(3):182-191. Published online: Nov, 30, -0001

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다공성 실리콘의 제조 및 특성에 관한 연구

  • 이철환;조원일;백지흠;박성용;안춘호;유종훈;조병원;윤경석;
    한국과학기술연구원 화공연구부;한국과학기술연구원 화공연구부;한국과학기술연구원 화공연구부;한국과학기술연구원 화공연구부;(주)실트론 연구소;고려대학교 자연과학대학 물리학과;한국과학기술연구원 화공연구부;한국과학기술연구원 화공연구부;
초록

A highly porous silicon layer was fabricated by anodizing single crystalline silicon in a dilute solution of hydrofluoric acid. The color of the porous silicon changed from red and blue to yellow gold during the anodizing process. The current-voltage (I-V

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