Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 28(6); 1995
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1995;28(6):343-351. Published online: Nov, 30, -0001

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음극아크 이온 플레이팅법에 의한 공구강상의 TiN 피막의 내마모 특성에 관한 연구

  • 김강범;정창준;백영남;
    신도리코(주) 기술연구소;경희대학교 기계공학과, 재료과학 기술연구소;경희대학교 기계공학과, 재료과학 기술연구소;
초록

Titanium nitride films have been prepared on various substrates (silicon wafer, HSS) by cathode arc ion plating process to measure microhardness, adhesion and wear-resistant behaviors by changing the substrate bias voltages (0∼-300V), thickness and roughn

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