Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 29(2); 1996
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1996;29(2):93-99. Published online: Nov, 30, -0001

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RF 스퍼터링법에 의한 BN박막 증착시 기판 바이어스전압의 영향에 관한 연구

  • 이은국;김도훈;
    연세대학교 공과대학 금속공학과;연세대학교 공과대학 금속공학과;
초록

In this work BN thin films were deposited on Si substrate by R. F. sputtering method at $200^{circ}C$ and in Ar + $N_2$ mixed gas atmosphere. In order to investigate the effect of ion bombardment on substrate for c-BN bonding, substr

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