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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 29(3); 1996
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1996;29(3):149-156. Published online: Nov, 30, -0001
3극 마그네트론 스팟터링 화학 기상 증착법에 의한 도전성 다이아몬드성 탄소 박막의 합성
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경북대학교 전자전기 공학부;서울대학교 전기공학부;
초록
Conducting diamond-like carbon films are synthesized using Triode Magnetron Sputtering-Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(TMS-PECVD), and are examined by four point probe, microhardeness tester, and scanning electron miscroscopy(SEM). As the target
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