Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 29(3); 1996
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1996;29(3):157-162. Published online: Nov, 30, -0001

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5, 100 mtorr의 증착압력에서 스퍼터 증착한 구리박막층이 Cu/Cr 박막과 폴리이미드 사이의 접착력에 미치는 영향

  • 조철호;김영호;
    한양대학교 재료공학과;한양대학교 재료공학과;
초록

The effects of microstructural change on the adhesion strength between Cu/Cr film and polyimide have been studied. Cr films (50 nm thick) and Cu films (500 or 1000 nm thick) were deposited on polyimide by DC magnetron sputtering. During Cu deposition the

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