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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 30(1); 1997
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1997;30(1):33-43. Published online: Nov, 30, -0001
이온플레팅시 공정조건이 Ti 및 Ni 중간층을 갖는층을 갖는 TiN 박막의 내식성에 미치는 영향에 관한 연구
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서울대학교 공과대학 재료공학부;서울대학교 공과대학 재료공학과;서울대학교 공과대학 재료공학과;서울대학교 공과대학 재료공학과;
초록
The effects of process parameters substrate such as substrate current and substrate temperature on the corrosion resistance of ion plated TiN film were investigated. TiN fims were deposited on speed steel on which Ti or Ni hed been previously evaporated.
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