Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 30(3); 1997
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1997;30(3):213-217. Published online: Nov, 30, -0001

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D.C. 마그네트론 스파터림법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여

  • 김선규;유정광;이건환;권식철;
    울산대학교 공과대학 재료공학·금속공학과;대우전자 제2연구소;한국기계연구원 박막연구소;한국기계연구원 박막연구소;
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