Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 30(4); 1997
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1997;30(4):231-238. Published online: Nov, 30, -0001

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Ta$_2$O$_5$ 박막전해질 EC 창의 전기화학 및 광학적 특성에 관한 연구

  • 김용혁;백지흠;조원일;윤경석;박인철;주재백;
    한국과학기술연구원 화공연구부;한국과학시술원 화공연구부;한국과학시술원 화공연구부;한국과학시술원 화공연구부;(현)현대전자 TFT-LCD;홍익대학교 공과대학 화학공학과;
초록

Tantalum oxide thin filme has an amorphous structure and a high resistivity. Its stoichiometric structure was $Ta_2O_{5.3}$ and the transmission ratio was 80%. The high resistivity of $Ta_2O_{5.3}$ thin film electrolyte made an EC w

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