Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 30(6); 1997
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1997;30(6):374-381. Published online: Nov, 30, -0001

PDF

텅스텐 실리사이드 열처리 거동에 미치는 계면 효과

  • 진원화;오상헌;이재갑;임인곤;김근호;이은구;홍해남;
    국민대학교 금속재료공학부;국민대학교 금속재료공학부;국민대학교 금속재료공학부;LG종합기술원;LG종합기술원;조선대학교 재료공학과;국방과학연구소;
초록

We have studied the effect of the interface between tungsten silicide and polysilicon the silicide reaction. The results showed that the cleaning of the silicon surface prior to the deposition of tungsten silicide affected the interface properties, thereb

키워드