Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 31(3); 1998
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 1998;31(3):171-176. Published online: Nov, 30, -0001

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반응성 dc 미그네트론 스퍼링법으로 제조된 IPO박막에 미치는 산소분압의 영향

  • 신성호;신재혁;박광자;김현우;
    무기화학과, 국립기술품질원 , 경기도 과천시 427-010;무기화학과, 국립기술품질원 , 경기도 과천시 427-010;무기화학과, 국립기술품질원 , 경기도 과천시 427-010;전자과, 두원공과대학 경기도 안성시 456-890;
초록

Transparent conducting ITO (Indium Tin Oxide) thin films were prepared on soda lime glass by reactive dc magnetron sputtering mothod. The maaterial properties were measured by the X-ray diffraction meter (XRD) and atomic force microscopy (AFM) scanning. A

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