Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 33(1); 2000
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2000;33(1):34-37. Published online: Nov, 30, -0001

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직류 대향타겟스퍼터링법으로 제작된 ZnO 박막의 c-축 배향성

  • 금민종;손인환;공석현;성하윤;김경환;
    경원대학교 공대 전기전자공학부;신성대학 전기과;경원대학교 공대 전기전자공학부;경원대학교 공대 전기전자공학부;경원대학교 공대 전기전자공학부;
초록

We prepared ZnO thin film with Facing Targets Sputtering system that can deposit thin film in plasma-free situation and change the deposition condition in wide range. And prepared thin film`s c-axis orientation and grain size were analyzed by XRD (x-ray d

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