Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 33(1); 2000
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2000;33(1):38-47. Published online: Nov, 30, -0001

PDF

Al 합금에 MO-PACVD법으로 증착시킨 Ti(CN) 코팅 층의 물성에 관한 연구

  • 김태형;김선규;;;
    현대전자(주);울산대학교 공과대학 재료금속공학부;;;
초록

A Ti(CN) layer was formed on aluminum alloy by using diethylamino titanium, hydrogen and nitrogen with the pulsed DC PACVD process. Effect of process parameters such as precursor evaporation temperature, duty ratio, frequency, voltage, $H_2$/

키워드