Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 33(4); 2000
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2000;33(4):229-232. Published online: Nov, 30, -0001

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타겟간 거리 변화에 따른 ZnO박막의 c-축 배향성에 관한 연구

  • 성하윤;금민종;손인환;김경환;
    경원대학교 공대 전기전자공학부;경원대학교 공대 전기전자공학부;신성대학 전기과;경원대학교 공대 전기전자공학부;
초록

C-axis oriented zinc oxide thin films were deposited on glass substrate by reactive Facing Targets Sputtering (FTS) system. The characteristics of zinc oxide thin films on power, inter targets distance, and substrate temperature were investigated by XRD(x

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