Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 33(4); 2000
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2000;33(4):266-272. Published online: Nov, 30, -0001

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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 MoS$_2$ 박막의 윤활 특성에 관한 연구

  • 안영환;김선규;
    울산대학교 재료금속공학부 기계부품 및 소재특성평가 연구센터;울산대학교 재료금속공학부 기계부품 및 소재특성평가 연구센터;
초록

Sputtered $MoS_2$ thin films provide lubrication and wear improvements for vacuum and space applications. In this study, deposition of $MoS_2$ thin films by R.F. magnetron sputtering was studied with regard to the micro-structural ch

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