Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

최신논문 논문목록
논문검색
논문 상세 검색
학회 연락처

상세보기

  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 34(1); 2001
  • Article

상세보기

KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2001;34(1):10-16. Published online: Nov, 30, -0001

PDF

RF 플라즈마를 이용한 금속 코발트와 몰리브데늄의 표면 식각 연구

  • 서용대;김용수;정종헌;오원진;
    한양대학교 원자력공학과;한양대학교 원자력공학과;한국원자력연구소;한국원자력연구소;
초록

Recently plasma etching research has been focused on the metal surfaces in the nuclear industry. In this study, surface etching reaction of metallic Co and Mo, principal contaminants in the spent nuclear components, in CF$_4$/O$_2$,

키워드