Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 34(2); 2001
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2001;34(2):89-96. Published online: Nov, 30, -0001

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비대칭 마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성된 STR304 스테인리스강 박막에서의 질소와 산소의 첨가 효가

  • 김광석;이상율;김범석;한전건;
    한국항공대학교 항공재료공학과;한국항공대학교 항공재료공학과;한국항공대학교 항공재료공학과;성균관대학교 플라즈마 응용 표면기술센터;
초록

N- or O-doped STS304 stainless films were synthesized by an unbalanced magnetron sputtering process with various argon and reactive gas ($N_2$, $O_2$) mixtures. These films were examined by scanning electron microscopy (SEM), X-ray d

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