이온 플레이팅법으로 제조한 (Ti$_{1-x}$Cr$_{x}$)N 박막의 마모특성에 관한 연구
이광희;박찬홍;이정중;
서울대학교 공과대학 재료공학부;SKC(주) 중앙연구소;서울대학교 공과대학 재료공학부;
초록
($Ti_{1-x}$$Cr_{x}$ )N coatings were deposited by an ion-plating method in a reactor with two separate metal sources, Ti and Cr. Ti was evaporated using an electron beam, while Cr evaporation was carried out by resistant heating. Th