Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 35(1); 2002
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2002;35(1):33-38. Published online: Nov, 30, -0001

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마그네트론 스퍼터링에 의하여 다양한 기판 위에 증착된 CrN 박막의 핵생성과 성장거동

  • 정민재;남경훈;한전건;
    성균관대학교 금속재료공학부 플라즈마응용표면기술연구센터;성균관대학교 금속재료공학부 플라즈마응용표면기술연구센터;성균관대학교 금속재료공학부 플라즈마응용표면기술연구센터;
초록

CrN 박막이 펄스마그네트론증착법에 의하여 glass, Si(110), AISI 1040 steel 위에 증착되어졌다. 각 기판 위에 증착된 CrN 박막의 구조는 표면의 접촉특성 보다는 표면의 구조에 영향을 받는 것으로 판단되어 진다. 또한 grain의 크기는 기판에 관계없이 증착 시간이 증가함에 따라 증가한다. AISI 1040 steel 위에 증착된 CrN 박막의 grain 성장과 구조는 glass와 Si에 비하여 바이어스에 강하게 영향을 받는다.

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