Aug, 31, 2024

Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 35(2); 2002
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2002;35(2):113-121. Published online: Nov, 30, -0001

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고주파 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SiO$_2$ 절연박막의 구조분석 및 절연저항에 관한 연구

  • 박태순;이성래;
    고려대학교 재료공학부;고려대학교 재료공학부;
초록

We have investigated insulating properties of $SiO_2$ interlayer for the thin film strain gauge, which were prepared by RF magnetron sputtering method in various deposition conditions, such as Ar pressure, gas flow rates and sputtering gases. S

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