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- KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
- Volume 35(4); 2002
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2002;35(4):199-205. Published online: Nov, 30, -0001
아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적 특성 비교
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부산대학교 공과대학 재료공학부;부산대학교 공과대학 재료공학부;부산대학교 공과대학 재료공학부;
초록
TiN and TiAlN films were deposited on SKD 11 steel substrates by an arc ion plating (AIP) technique. The crystallinity and morphology for the deposited films were characterized by X-ray diffraction (XRD) and scanning electron microscopy (SEM). The mechani
키워드 AIP;TiN;TiAIN;Impact;Wear;