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Vol.57 No.4

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  • KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering
  • Volume 35(6); 2002
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KISE Journal of Korean Institute of Surface Engineering 2002;35(6):415-421. Published online: Nov, 30, -0001

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DC magnetron sputtering법으로 제조된 Ti-Si-N코팅막의 내산화성에 관한 연구

  • 최준보;류정민;조건;김광호;이미혜;
    부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;부산대학교 재료공학부;기술신용보증기금 기술평가센터;
초록

Ti-Si-N coating layers were codeposited on silicon wafer substrates by a DC reactive magnetron sputtering technique using separate titanium and silicon targets in $N_2$/Ar gas mixtures. The oxidation behavior of Ti-Si-N coating layers containin

키워드 Ti-Si-N coating layers;DC magnetron sputtering;Oxidation resistance;